真空熱處理 技術是近些年發展起來的一種新型的熱處理技術，它所具備的特點，正是模具制造中所迫切需要的，比如防止加熱氧化和不脫碳、真空脫氣或除氣，消除氫脆，從而提高材料(零件)的塑性、韌性和疲勞強度。真空加熱緩慢、零件內外溫差較小等因素，決定了真空熱處理工藝造成的零件變形小等。

按采用的冷卻介質不同，真空淬火可分為真空油冷淬火、真空氣冷淬火、真空水冷淬火和真空硝鹽等溫淬火。模具真空熱處理中主要應用的是真空油冷淬火、真空氣冷淬火和真空回火。為保持工件(如模具)真空加熱的優良特性，冷卻劑和冷卻工藝的選擇及制定非常重要，模具淬火過程主要采用油冷和氣冷。

對于熱處理后不再進行機械加工的模具工作面，淬火后盡可能采用真空回火，特別是真空淬火的工件(模具)，它可以提高與表面質量相關的機械性能，如疲勞性能、表面光亮度、而腐蝕性等。

熱處理過程的計算機模擬技術(包括組織模擬和性能預測技術)的成功開發和應用，使得模具的智能化熱處理成為可能。由于模具生產的小批量(甚至是單件)、多品種的特性，以及對熱處理性能要求高和不允許出現廢品的特點，又使得模具的智能化熱處理成為。模具的智能化熱處理包括：明確模具的結構、用材、熱處理性能要求模具加熱過程溫度場、應力場分布的計算機模擬模具冷卻過程溫度場、相變過程和應力場分布的計算機模擬加熱和冷卻工藝過程的仿真淬火工藝的制定熱處理設備的自動化控制技術。國外工業發達國家，如美國、日本等，在真空高壓氣淬方面，已經開展了這方面的技術研發，主要針對目標也是模具。